真空度低会导致沉积的金属膜容易发生氧化。

PVD的优点是阶梯覆盖能力强。

判断题PVD的优点是阶梯覆盖能力强。

Endura5500 degas腔的作用为（）。A.除湿气，增加结合力B.转向，确保wafer角度一致C.去除...

多项选择题Endura5500 degas腔的作用为（）。

TiN膜的三个用途包括（）。A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光...

多项选择题TiN膜的三个用途包括（）。