二氧化硅可以作为器件的保护层和钝化层。

硅、二氧化硅系统中存在可动离子电荷。

判断题硅、二氧化硅系统中存在可动离子电荷。

外延温度高于1000℃称为高温外延。

判断题外延温度高于1000℃称为高温外延。

如果衬底是（100）晶向，那么外延层也是（100）晶向。

判断题如果衬底是（100）晶向，那么外延层也是（100）晶向。