外延温度高于1000℃称为高温外延。

如果衬底是（100）晶向，那么外延层也是（100）晶向。

判断题如果衬底是（100）晶向，那么外延层也是（100）晶向。

外延掺杂的目的只是为了控制导电类型。

判断题外延掺杂的目的只是为了控制导电类型。

抛光终点检测过程中，电动机电流CMP终点检测不适合进行层间介质检测。

判断题抛光终点检测过程中，电动机电流CMP终点检测不适合进行层间介质检测。