互连工艺中AL的制备可选用（）。

金属化中可选用的金属材料有（）。A.银B.金C.铝D.铜

多项选择题金属化中可选用的金属材料有（）。

进行沟槽填充常用的金属材料是（）。A.铜B.铝C.钨D.金

单项选择题进行沟槽填充常用的金属材料是（）。

化学机械抛光液的主要成分不包括的是哪个？（）A.还原剂B.分散剂C.腐蚀介质D.磨料

单项选择题化学机械抛光液的主要成分不包括的是哪个？（）