进行沟槽填充常用的金属材料是（）。

化学机械抛光液的主要成分不包括的是哪个？（）A.还原剂B.分散剂C.腐蚀介质D.磨料

单项选择题化学机械抛光液的主要成分不包括的是哪个？（）

CMP的设备构成包括（）。A.台板B.抛光液C.抛光垫D.夹持设备

多项选择题CMP的设备构成包括（）。

新的平坦化方法有哪几个？（）A.固结磨料CMP技术B.无磨粒CMP技术C.无应力抛光技术D.电化学机械平坦化技...

多项选择题新的平坦化方法有哪几个？（）