问答题
①高技术含量：设备先进、技术先进②高精度：光刻图形的最小线条尺寸在亚微米量级，制备的介质薄膜厚度也在纳米量级......
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解释集成度的概念并根据集成度将集成电路分类
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简述制造半导体器件的四个阶段
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列举出几种pn结的形成方法并说出平面工艺的特点
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