单项选择题
A.非晶硅与单晶硅的raman谱的峰位不同B.非晶硅的光吸收系数高于单晶硅,有利于光电转换C.非晶硅的能带结构与晶体硅相同,禁带宽度均为1.12eVD.由于非晶硅薄膜中存在比较高的缺陷和局域态密度,通常不能进行掺杂
以下不是外延硅的主要缺陷()。A.位错B.夹层C.氧沉淀D.层错
单项选择题以下不是外延硅的主要缺陷()。
A.位错B.夹层C.氧沉淀D.层错
以下对于硅外延生长描述不正确的是()。A.生长速率随着气体流量的增加而增大B.不同的晶向生长速率不同C.温度...
单项选择题以下对于硅外延生长描述不正确的是()。
A.生长速率随着气体流量的增加而增大B.不同的晶向生长速率不同C.温度影响硅外延生长速率,温度越高外延层的生长速率越高D.气体和载体的比例影响硅外延生长的速率,存在一个最佳比例生长速率最高
以下抑制自掺杂的方法不正确的是()。A.采用低温外延技术B.采用背封技术,如生长二氧化硅或者多晶硅C.采用含...
单项选择题以下抑制自掺杂的方法不正确的是()。
A.采用低温外延技术B.采用背封技术,如生长二氧化硅或者多晶硅C.采用含卤原子的硅源D.外延生长前高温加热沉底,表面形成耗尽层