问答题
常压化学气相淀积；传统上这些膜通常作为层间介质（ILD），保护覆盖物或者表面平坦化；不是使用硅烷作为反应源。
列出沉积的5种主要技术。
问答题列出沉积的5种主要技术。
列举并描述薄膜生长的三个阶段。
问答题列举并描述薄膜生长的三个阶段。
RTP是热壁系统还是冷壁系统？
问答题RTP是热壁系统还是冷壁系统？
