问答题
扩散效应是指衬底中的杂质与外延层中的杂质，在外延生长时互相扩散，引起衬底与外延层界面附近杂质浓度的缓慢变化。扩散效应对界......
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下图为硅外延生长速度对H2中SiCL4摩尔分量的函数曲线，试分析曲线走势，并给出其变化的原因。
影响外延薄膜的生长速度的因素有哪些？
问答题影响外延薄膜的生长速度的因素有哪些？
简述外延薄膜的生长过程，其最显著的特征是什么？
问答题简述外延薄膜的生长过程，其最显著的特征是什么？
