单项选择题
A.泵（Pump） B.压力计（Pressure Gauge） C.过压阀（Orifice） D.压力自动控制器（APC）
哪一项不属于控制Dry Etch工程的工艺条件（）A.能量（Power）B.气体（Gas）C.压力（Press...
单项选择题哪一项不属于控制Dry Etch工程的工艺条件（）
A.能量（Power） B.气体（Gas） C.压力（Pressure） D.磁场（Magnet）
下列哪一项不属于Dry Etch设备的主要Unit（）A.Process Chamber（反应腔）B.Load...
单项选择题下列哪一项不属于Dry Etch设备的主要Unit（）
A.Process Chamber（反应腔） B.Loadlock Module（加载腔） C.Heating Chamber（加热腔） D.Transfer Module（中转腔）
在Dry Etch工程中，Active Etch工艺不会被刻蚀到的Film是（）A.G-SiNxB.P-SiN...
单项选择题在Dry Etch工程中，Active Etch工艺不会被刻蚀到的Film是（）
A.G-SiNx B.P-SiNx C.N+a-SiNx D.a-Si
