单项选择题
A.G-SiNx B.P-SiNx C.N+a-SiNx D.a-Si
CVD中干泵进行Purge和Sealing的气体是（）A.N2B.COC.H2D.CO2
单项选择题CVD中干泵进行Purge和Sealing的气体是（）
A.N2 B.CO C.H2 D.CO2
CVD设备中可以检测到Glass是否Broken的装置是（）A.Process ChamberB.Transf...
单项选择题CVD设备中可以检测到Glass是否Broken的装置是（）
A.Process Chamber B.Transfer Chamber C.DSSL D.Scrubber
CVD中起到冷却作用的设备是（）A.Process ChamberB.Transfer ChamberC.DS...
单项选择题CVD中起到冷却作用的设备是（）
