由于能量的原因，晶体中空位和自间隙原子在一定温度下的平衡浓度是一定的。

冶金法制备高纯多晶硅与改良西门子法相比，前者的成本更低，但是电耗更多。

判断题冶金法制备高纯多晶硅与改良西门子法相比，前者的成本更低，但是电耗更多。

精馏是实现多级部分汽化和多级部分冷凝的实用技术。

判断题精馏是实现多级部分汽化和多级部分冷凝的实用技术。

甲硅烷常温下为气体，室温下就容易分解。

判断题甲硅烷常温下为气体，室温下就容易分解。