多项选择题
A.光刻机B.光刻胶C.掩膜版D.涂胶机
单晶硅生长是将电子级纯的多晶硅华为单晶硅锭，要实现这一条件需满足三个条件：（）、（）、（）。A.原子具有一定的...
多项选择题单晶硅生长是将电子级纯的多晶硅华为单晶硅锭，要实现这一条件需满足三个条件：（）、（）、（）。
A.原子具有一定的动能B.要有一个排列标准C.排列好的原子能稳定下来D.不能含有任何杂质
切片是抛光片制备中一道重要的工序，因为这一工序基本上决定了硅片的四个重要参数，即晶向、（）、（）、（）。A.平...
多项选择题切片是抛光片制备中一道重要的工序，因为这一工序基本上决定了硅片的四个重要参数，即晶向、（）、（）、（）。
A.平行度B.直径C.翘度D.厚度
离子注入设备主要由（）和聚焦阳极，偏束板，扫描器，靶室组成。A.离子发生器B.磁分析器C.加速器D.减速器
多项选择题离子注入设备主要由（）和聚焦阳极，偏束板，扫描器，靶室组成。
A.离子发生器B.磁分析器C.加速器D.减速器
