多项选择题
A.SOIB.SOSC.SEGD.MOCVD
外延掺杂的作用是()A.控制导电性质B.弥补缺陷C.形成过渡区域D.控制外延层的电导率
多项选择题外延掺杂的作用是()
A.控制导电性质B.弥补缺陷C.形成过渡区域D.控制外延层的电导率
外延层电阻率的检测方法有()A.四探针法B.扩展电阻法C.电容法D.红外反射法
多项选择题外延层电阻率的检测方法有()
A.四探针法B.扩展电阻法C.电容法D.红外反射法
根据外延层工艺中反应物的状态,可以将外延分为()A.汽相外延B.固相外延C.液相外延D.反相外延
多项选择题根据外延层工艺中反应物的状态,可以将外延分为()
A.汽相外延B.固相外延C.液相外延D.反相外延