根据外延层工艺中反应物的状态，可以将外延分为（）

SOI应用在集成电路上的优势是（）A.寄生电容小B.速度快C.抗辐射能力强D.能抑制CMOS电路的闩锁效应

多项选择题SOI应用在集成电路上的优势是（）

测量外延层厚度的方法有（）A.红外反射法B.电容法C.磨角法D.四探针法

多项选择题测量外延层厚度的方法有（）

外延层需要检测的参数有（）A.厚度B.缺陷检测C.电阻率D.电导率

多项选择题外延层需要检测的参数有（）