多项选择题
A.四探针法B.扩展电阻法C.电容法D.红外反射法
根据外延层工艺中反应物的状态，可以将外延分为（）A.汽相外延B.固相外延C.液相外延D.反相外延
多项选择题根据外延层工艺中反应物的状态，可以将外延分为（）
A.汽相外延B.固相外延C.液相外延D.反相外延
SOI应用在集成电路上的优势是（）A.寄生电容小B.速度快C.抗辐射能力强D.能抑制CMOS电路的闩锁效应
多项选择题SOI应用在集成电路上的优势是（）
A.寄生电容小B.速度快C.抗辐射能力强D.能抑制CMOS电路的闩锁效应
测量外延层厚度的方法有（）A.红外反射法B.电容法C.磨角法D.四探针法
多项选择题测量外延层厚度的方法有（）
A.红外反射法B.电容法C.磨角法D.四探针法
