问答题
投影掩膜版：图形可能仅包含一个管芯，也可能是几个。容易形成亚微米图形；小曝光场，需要步进重复；光学缩小，允许较大的尺寸。......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
为什么硅片热氧化结束时通常还要进行氢气或氢－氮混合气体退火？
问答题为什么硅片热氧化结束时通常还要进行氢气或氢－氮混合气体退火？
采用提拉法（CZ法，切克劳斯基法）和区熔法制备的硅片，哪种方法质量更高，为什么？那么目前8英寸以上的硅片，经常...
问答题采用提拉法（CZ法，切克劳斯基法）和区熔法制备的硅片，哪种方法质量更高，为什么？那么目前8英寸以上的硅片，经常选择哪种方式制备，为什么？
化学机械平坦化的工作机理是什么？与传统平坦化方法相比，它有哪些优点？
问答题化学机械平坦化的工作机理是什么？与传统平坦化方法相比，它有哪些优点？
