填空题
辉光放电；弧光放电；电晕放电；火花放电
真空蒸发设备由三大部分组成，分别是（）、（）、（）及（）系统。
填空题真空蒸发设备由三大部分组成，分别是（）、（）、（）及（）系统。
真空蒸发的蒸发源有（）、（）、（）、（）等。
填空题真空蒸发的蒸发源有（）、（）、（）、（）等。
离子注入系统结构一般包括（）等部分。
填空题离子注入系统结构一般包括（）等部分。
