刻蚀机的冷却系统通常采用（）。

刻蚀过程中的等离子体密度对刻蚀效果的影响是（）。A.密度越高，刻蚀速率越快B.密度越高，刻蚀选择性越好C.密度...

单项选择题刻蚀过程中的等离子体密度对刻蚀效果的影响是（）。

刻蚀机的真空泵选择主要依据（）。A.抽气速率B.极限真空度C.耐腐蚀性D.以上都是

单项选择题刻蚀机的真空泵选择主要依据（）。

刻蚀机的定期校准周期通常为（）。A.每天B.每周C.每月D.每年

单项选择题刻蚀机的定期校准周期通常为（）。