单项选择题
A.密度越高，刻蚀速率越快B.密度越高，刻蚀选择性越好C.密度越高，刻蚀均匀性越差D.密度越高，刻蚀损伤越大
刻蚀机的真空泵选择主要依据（）。A.抽气速率B.极限真空度C.耐腐蚀性D.以上都是
单项选择题刻蚀机的真空泵选择主要依据（）。
A.抽气速率B.极限真空度C.耐腐蚀性D.以上都是
刻蚀机的定期校准周期通常为（）。A.每天B.每周C.每月D.每年
单项选择题刻蚀机的定期校准周期通常为（）。
A.每天B.每周C.每月D.每年
提高刻蚀均匀性的关键在于（）。A.优化气体分布B.稳定温度和压力C.改进掩膜设计D.以上都是
单项选择题提高刻蚀均匀性的关键在于（）。
A.优化气体分布B.稳定温度和压力C.改进掩膜设计D.以上都是
