填空题
反射；产生二次电子；溅射；注入
自持放电的形式有（）、（）、（）、（）。
填空题自持放电的形式有（）、（）、（）、（）。
真空蒸发设备由三大部分组成，分别是（）、（）、（）及（）系统。
填空题真空蒸发设备由三大部分组成，分别是（）、（）、（）及（）系统。
真空蒸发的蒸发源有（）、（）、（）、（）等。
填空题真空蒸发的蒸发源有（）、（）、（）、（）等。
