刻蚀机的尾气处理系统主要作用是（）。

刻蚀机的电源类型通常为（）。A.直流电源B.交流电源C.脉冲电源D.以上都是

单项选择题刻蚀机的电源类型通常为（）。

刻蚀过程中的掩膜材料通常要求（）。A.耐高温B.耐刻蚀C.导电性好D.以上都是

单项选择题刻蚀过程中的掩膜材料通常要求（）。

刻蚀机的冷却系统通常采用（）。A.风冷B.水冷C.液氮冷却D.自然冷却

单项选择题刻蚀机的冷却系统通常采用（）。