多项选择题
A.离子源是否被沾污B.真空系统是否漏气C.原材料是否满足纯度要求D.光刻胶的碱性元素沾污
离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）A.静电扫描B.机械扫描C.混合扫描D.平行扫描
多项选择题离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）
A.静电扫描B.机械扫描C.混合扫描D.平行扫描
传统的平坦化技术有（）A.反刻法B.高温回流法C.旋涂玻璃法D.化学机械抛光法
多项选择题传统的平坦化技术有（）
A.反刻法B.高温回流法C.旋涂玻璃法D.化学机械抛光法
金属薄膜制备中常见的溅射方式有（）A.直流溅射B.射频溅射C.磁控溅射D.准直溅射
多项选择题金属薄膜制备中常见的溅射方式有（）
A.直流溅射B.射频溅射C.磁控溅射D.准直溅射
