填空题
高分辨率；高灵敏度的光刻胶；低缺陷；精密的套刻对准；对大尺寸硅片的加工
硅气相外延的硅源有（）、（）、（）、（）等。
填空题硅气相外延的硅源有（）、（）、（）、（）等。
根据向衬底输送原子的方式可以把外延分为：（）、（）、（）。
填空题根据向衬底输送原子的方式可以把外延分为：（）、（）、（）。
CVD过程中化学反应所需的激活能来源有（）、（）、（）等。
填空题CVD过程中化学反应所需的激活能来源有（）、（）、（）等。
