根据向衬底输送原子的方式可以把外延分为：（）、（）、（）。

CVD过程中化学反应所需的激活能来源有（）、（）、（）等。

填空题CVD过程中化学反应所需的激活能来源有（）、（）、（）等。

常用的溅射镀膜气体是（），射频溅射镀膜的射频频率是（）。

填空题常用的溅射镀膜气体是（），射频溅射镀膜的射频频率是（）。

溅射镀膜方法有（）、（）、（）、（）等。

填空题溅射镀膜方法有（）、（）、（）、（）等。