填空题
热能；等离子体；光能
常用的溅射镀膜气体是（），射频溅射镀膜的射频频率是（）。
填空题常用的溅射镀膜气体是（），射频溅射镀膜的射频频率是（）。
溅射镀膜方法有（）、（）、（）、（）等。
填空题溅射镀膜方法有（）、（）、（）、（）等。
离子对物体表面轰击时可能发生的物理过程有（）、（）、（）、（）。
填空题离子对物体表面轰击时可能发生的物理过程有（）、（）、（）、（）。
