问答题

简答题 湿法刻蚀和干法刻蚀的区别?

【参考答案】

湿法刻蚀设备简单、工艺操作方便,一般的常规生产均能满足要求,但各向同性刻蚀性太强,难以控制线宽,而且刻蚀剂大多为腐蚀性较......

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