扩散工艺主要测量哪些参数？（）

扩散系数可以表示（）A.扩散的快慢B.扩散的原因C.扩散的难易程度D.扩散的方向

多项选择题扩散系数可以表示（）

刻蚀的主要参数有（）A.刻蚀速率B.刻蚀选择比C.刻蚀因子D.均匀性

多项选择题刻蚀的主要参数有（）

以下刻蚀方法中，不属于各向同性的刻蚀是（）A.湿法刻蚀B.溅射刻蚀C.等离子体刻蚀D.反应离子刻蚀

多项选择题以下刻蚀方法中，不属于各向同性的刻蚀是（）