问答题
表面缺陷、结构缺陷、氧化层中的电荷
为何热氧化时要控制钠离子含量？降低钠离子污染的措施有哪些？
问答题为何热氧化时要控制钠离子含量？降低钠离子污染的措施有哪些？
影响热氧化层电性的电荷来源有哪些类型？降低这些电荷浓度的措施？
问答题影响热氧化层电性的电荷来源有哪些类型？降低这些电荷浓度的措施？
影响氧化速率的因素有？
问答题影响氧化速率的因素有？
