简答题 扩散的方式有哪三种？

说明用于硅中扩散常见的固态、液态、气态源。

问答题说明用于硅中扩散常见的固态、液态、气态源。

描述等离子体刻蚀和干法去胶的原理

问答题描述等离子体刻蚀和干法去胶的原理

描述并比较接触式光刻、接近式、投影式、步进式和电子束光刻。

问答题描述并比较接触式光刻、接近式、投影式、步进式和电子束光刻。