刻蚀均匀性的衡量指标是（）。

刻蚀机的自动化程度主要体现在（）。A.自动上下料B.自动控制参数C.自动故障诊断D.以上都是

单项选择题刻蚀机的自动化程度主要体现在（）。

以下哪种不是影响刻蚀选择性的因素（）？A.材料结构B.刻蚀气体浓度C.刻蚀时间D.刻蚀温度

单项选择题以下哪种不是影响刻蚀选择性的因素（）？

刻蚀机的分辨率与以下哪个因素无关（）？A.光源波长B.镜头质量C.刻蚀气体种类D.样品表面平整度

单项选择题刻蚀机的分辨率与以下哪个因素无关（）？