多项选择题
A.真空蒸镀B.等离子体C.溅射D.二氧化硅
CVD的特点是（）A.薄膜成分可控B.速度优于PVDC.黏附性好D.纯度高
多项选择题CVD的特点是（）
A.薄膜成分可控B.速度优于PVDC.黏附性好D.纯度高
选择外延的简称是（）A.CBEB.SEGC.UHVD.SPE
单项选择题选择外延的简称是（）
A.CBEB.SEGC.UHVD.SPE
SOI的意思是（）A.汽相外延B.液相外延C.分子束外延D.绝缘层上（外延）硅
单项选择题SOI的意思是（）
A.汽相外延B.液相外延C.分子束外延D.绝缘层上（外延）硅
