PVD常用于制备金属薄膜。

CVD可以制备多种薄膜，所以应用广泛。

判断题CVD可以制备多种薄膜，所以应用广泛。

热氧化制备二氧化硅的质量比CVD差。

判断题热氧化制备二氧化硅的质量比CVD差。

CVD过程中，化学反应发生在腔室中。

判断题CVD过程中，化学反应发生在腔室中。