扩散可以（）

干法刻蚀的缺点有（）A.选择比好B.容易造成衬底损伤C.设备昂贵D.不要终点检测

多项选择题干法刻蚀的缺点有（）

干法刻蚀的优点有（）A.各向异性B.均匀性好C.各向同性D.设备简单

多项选择题干法刻蚀的优点有（）

以下（）属于刻蚀终点检测法。A.OESB.IEPC.RIED.HDP

多项选择题以下（）属于刻蚀终点检测法。