单项选择题
A.对厚度没有要求B.对掺杂的浓度没有要求C.杂质分布满足要求D.外延层中位错、层错、麻坑、雾状、缺陷、伤痕等都无所谓
汽相外延的简称是()A.VPEB.SSDC.GNDD.wuhu
单项选择题汽相外延的简称是()
A.VPEB.SSDC.GNDD.wuhu
CMP湿实现()的一种技术。A.平滑处理B.部分平坦化C.局部平坦化D.全局平坦化
单项选择题CMP湿实现()的一种技术。
A.平滑处理B.部分平坦化C.局部平坦化D.全局平坦化
化学机械抛光中,抛光液的作用是()A.与硅片表面材料反应,变成可溶物质或一些硬度过高的物质变化B.向抛光垫施加...
单项选择题化学机械抛光中,抛光液的作用是()
A.与硅片表面材料反应,变成可溶物质或一些硬度过高的物质变化B.向抛光垫施加压力C.将反应生成物从硅片表面去除D.清洗硅片