问答题
简答题
哪种化学气体通常用来刻蚀多晶硅，为什么这种化学气体替代了氟基化学气体？
【参考答案】
氯气、溴气、氯/溴气
原因：因为氟基气体的刻蚀是各向同性的并且对光刻胶的选择比一般，为了避免击掉下一层的氧化物......
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