问答题
简答题
描述平板反应器。
【参考答案】
首先在层间介质二氧化硅中刻出通孔窗口，
然后再覆盖有TiN阻挡层的通孔窗口中淀积W，
最后进行干法等......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
