单项选择题
A.DC（直流） B.AC（交流） C.RF（射频） D.混合电源
A.设备是否漏水 B.设备是否漏气 C.设备是否温度过高 D.Depo的膜是否RS良好
A.Shield B.Carrier C.Target D.Clamp
A.Cleaning B.Exposure C.Coater D.Reprocess
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