多项选择题

关于溶胶凝胶法，下面哪些说法是正确的？（）

A.溶胶凝胶法制膜反应温度低，均匀性好，化学组分可以精确控制，设备简单，成本低，制备的薄膜致密性好，适合工业生产。
B.溶胶是指有胶体颗粒分散悬浮于其中的液体。
C.凝胶是指内部成网状结构，网络间隙中含有液体的固体。
D.溶胶凝胶法适合制备大面积薄膜。

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多项选择题

A.细颗粒有利于液相烧结
B.烧结过程中产生的大量液相有利于烧结进行
C.提高温度对致密化有利
D.固液相间的接触角愈小，对烧结愈有利

多项选择题

A.沉积温度
B.反应气体的比例
C.基体材料
D.压强

多项选择题

A.淀积材料蒸发或升华为气态
B.原子从蒸发源输运到基片
C.蒸气粒子在基片上沉积
D.粒子在基片表面重排凝结成膜