多项选择题
A.电阻丝加热蒸发B.电子束蒸发C.金属蒸发D.离子束蒸发
A.波长更短B.波长更长C.频率更高D.频率更低
A.分辨率高B.速度快C.效率低D.受光波长限制
A.所有设备均需工作在高真空环境下B.靶材的使用寿命较低C.难以找到合适的光刻胶D.光源功率较低
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