多项选择题
A.波长更短B.波长更长C.频率更高D.频率更低
A.分辨率高B.速度快C.效率低D.受光波长限制
A.所有设备均需工作在高真空环境下B.靶材的使用寿命较低C.难以找到合适的光刻胶D.光源功率较低
A.汞灯B.准分子激光C.水银弧光灯D.等离子体
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