多项选择题
A.分辨率高B.速度快C.效率低D.受光波长限制
A.所有设备均需工作在高真空环境下B.靶材的使用寿命较低C.难以找到合适的光刻胶D.光源功率较低
A.汞灯B.准分子激光C.水银弧光灯D.等离子体
A.防止晶圆受到撞击而导致边缘破裂B.防止热应力产生的缺陷在边缘产生并阻止其向内部移动C.增加晶圆边缘的平坦度D.去除晶圆表面微量的损伤层
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