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多项选择题

减薄划片换刀的原因有（）。

A.伸长量到工艺要求
B.刀痕太粗
C.特殊晶圆
D.刀刃砂眼

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PG3000RMX减薄机“MODE”按钮下有“（）”菜单选项。

A.AUTO
B.SEMI AUTO
C.MANUAL
D.WARMING UP
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