多项选择题
关于减薄环节绝对禁止的行为,描述正确的有哪些()。
A.晶圆在料盒(晶舟)中装反装斜
B.晶圆墨点厚度超过30μm
C.操作员可以更改非操作参数
D.打开设备防护罩开机减薄
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多项选择题
A.晶圆在料盒(晶舟)中装反装斜
B.晶圆墨点厚度超过30μm
C.操作员可以更改非操作参数
D.打开设备防护罩开机减薄
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