多项选择题
A.6寸 B.8寸 C.12寸 D.4寸
A.晶圆在料盒（晶舟）中装反装斜 B.晶圆墨点厚度超过30μm C.操作员可以更改非操作参数 D.打开设备防护罩开机减薄
A.正常生产 B.停机待料 C.维护保养 D.维修调试
A.伸长量到工艺要求 B.刀痕太粗 C.特殊晶圆 D.刀刃砂眼
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