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多项选择题

以下（）属于刻蚀终点检测法。

A.OES
B.IEP
C.RIE
D.HDP

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以下（）属于干法刻蚀工艺。

A.RIE
B.MERIE
C.ICP
D.HDP
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A.各向同性
B.各向异性
C.提高刻蚀的选择比
D.不产生衬底损伤
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A.可做铝铜合金
B.采用三层夹心结构
C.在合金化的铝中适当地添加硅
D.采用“竹节状”结构
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