多项选择题
A.RIEB.MERIEC.ICPD.HDP
A.各向同性B.各向异性C.提高刻蚀的选择比D.不产生衬底损伤
A.可做铝铜合金B.采用三层夹心结构C.在合金化的铝中适当地添加硅D.采用“竹节状”结构
A.电阻丝加热蒸发B.电子束蒸发C.金属蒸发D.离子束蒸发
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