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多项选择题

干法刻蚀的优点有（）

A.各向异性
B.均匀性好
C.各向同性
D.设备简单

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多项选择题
以下（）属于刻蚀终点检测法。

A.OES
B.IEP
C.RIE
D.HDP
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以下（）属于干法刻蚀工艺。

A.RIE
B.MERIE
C.ICP
D.HDP
多项选择题
属于湿法刻蚀的优点的是（）

A.各向同性
B.各向异性
C.提高刻蚀的选择比
D.不产生衬底损伤
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