多项选择题

下列关于标准单元说法正确的是（）

A.标准单元只能采用单层金属连线，但该层可以是所给金属层次中的任意一层。
B.标准单元的高度和宽度都是固定的。
C.标准单元中必须包含电源线。
D.标准单元中的输入输出引脚要放在网格上，以便于自动绕线。

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多项选择题

A.时序信息
B.逻辑功能信息
C.功耗信息
D.面积信息

单项选择题

A.Ar回蚀法
B.PSG或BPSG的热回流
C.SOG回蚀法
D.化学机械抛光

单项选择题

A.物理气相沉积
B.化学气相沉积
C.电化学镀
D.热氧化