多项选择题
A.时序信息 B.逻辑功能信息 C.功耗信息 D.面积信息
A.Ar回蚀法 B.PSG或BPSG的热回流 C.SOG回蚀法 D.化学机械抛光
A.物理气相沉积 B.化学气相沉积 C.电化学镀 D.热氧化
A.铜具有更高的导电率 B.铜具有更低的导电率 C.铜更容易刻蚀加工 D.铜具有更好热导率
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